真空泵真空区域的划分
真空区域 | 压强范围 | |
托(Torr) | 帕(Pa) | |
低真空 | 760~10 | 101325~1333 |
中真空 | 10~10-3 | 1333~1.33×10-1 |
高真空 | 10-3~10-8 | 1.33×10-1~10-6 |
超高真空 | 10-8~10-12 | 10-6~10-10 |
*真空 | <10-12 | <10-10 |
对于需要配前级泵的抽气机组,主泵选完之后,重要的问题是如何选配合适的前级泵和预抽泵。选配前级泵的原则是:
(1)前级泵在主泵出口处造成的压力应低于主泵的大排气压力
(2)前级泵应保证始终及时排出主泵所排出的气体流量。
(3)兼作预抽泵的前级泵要满足预抽时间及预抽真空度的要求。
根据主泵的工作特性不向,配泵可分为两种情况:一种是主泵需要配前级泵,如扩散泵、分子泵等;另一种是主泵只需要配预抽真空泵,而不需要配前级泵,如各种吸附冷凝泵等。
主泵配前级泵计算时,需要前级泵在主泵出口处形成的压力始终低于该泵的大排气压力,主真空泵才能正常工作。普通的油扩散泵的大排气压一般为26~40Pa左右;油增压泵的大排气压力一般为130~260yPa左右。
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